VIGORE Prodotto Espresso|Flussostato Serie VEFS2

Spinto dall'intelligenza artificiale, dall'High-performance computing (HPC), dall'elettronica automobilistica e dalle applicazioni Internet of Things, il settore dei semiconduttori sta attraversando una rapida trasformazione. Questa notevole crescita, tuttavia, ha introdotto anche nuove sfide operative. Poiché le scale di produzione si espandono a un ritmo senza precedenti, i gas speciali ad alto rischio come il silano e la fosfina sono ampiamente utilizzati nelle fabbriche di semiconduttori. Qualsiasi perdita incontrollata di gas causata dalla rottura della tubazione, da raccordi allentati, da guasti alle guarnizioni o da un'installazione non corretta può rapidamente degenerare in un grave incidente di sicurezza, mettendo a rischio la sicurezza del personale, danneggiando apparecchiature di produzione critiche e causando costosi tempi di fermo non pianificati. In questo contesto, l'Excess Flow Switch (EFS) di VIGOUR, con il suo design di attuazione puramente meccanico e l'eccezionale compatibilità con purezza ultra-elevata-(UHP), è diventato una protezione di sicurezza indispensabile per i sistemi di fornitura di gas speciali, inclusi armadi a gas e VMB, nelle linee di produzione di semiconduttori in tutto il mondo.

Il principio progettuale fondamentale del VIGOR EFS è quello di rilevare condizioni di flusso anomale e rispondere in modo affidabile. Quando un guasto della tubazione a valle provoca un aumento improvviso ed eccessivo del flusso che supera il punto di intervento critico pre-impostato, il dispositivo attiva immediatamente un segnale di risposta. Questo segnale viene trasmesso attraverso l'apertura o la chiusura dei contatti elettrici nell'interruttore reed-integrato, che viene quindi sincronizzato e inviato al sistema SCADA o al sistema di monitoraggio del gas (GMS). Fornendo avvisi in tempo reale-e consentendo risposte rapide e automatizzate, supporta la gestione proattiva della sicurezza, mitiga efficacemente i potenziali pericoli e rafforza l'affidabilità complessiva della rete di distribuzione del gas.

Nei processi di produzione dei semiconduttori, ogni componente del sistema del gas può diventare una potenziale fonte di contaminazione. Anche particelle minuscole, impurità metalliche o adsorbimento superficiale possono compromettere la qualità dei wafer e ridurre i rendimenti di produzione. Pertanto, VIGOR aderisce rigorosamente ai rigorosi standard dell'industria dei semiconduttori per garantire la purezza dei materiali, la pulizia delle superfici e la stabilità operativa.

In termini di standard dei materiali, VIGOR utilizza esclusivamente acciaio inossidabile 316L prodotto tramite la tecnologia a doppia-fusione VIM/VAR. Questo processo metallurgico avanzato riduce significativamente le inclusioni metalliche e le impurità residue, garantendo un'eccellente resistenza alla corrosione e minimizzando il rischio di contaminazione da gas. Per il trattamento superficiale, tutti i prodotti vengono sottoposti a elettrolucidatura avanzata (EP), mantenendo una ruvidità della superficie interna di 5–10 μin. Un interno così liscio e pulito impedisce alle molecole di gas di essere assorbite dalle pareti interne ed elimina la precipitazione delle particelle, favorendo un'erogazione del gas stabile e priva di contaminazioni-.

Inoltre, VIGOR EFS offre un'ampia selezione di punti di intervento critici e opzioni di configurazione flessibili per adattarsi a diversi scenari applicativi. Attraverso la semplice corrispondenza dei parametri, gli utenti possono determinare facilmente il modello accurato in base a tipi di gas specifici, condizioni di pressione operativa e portate massime consentite. Questo elevato grado di personalizzazione garantisce una protezione da sovraflusso precisa e affidabile per varie applicazioni di gas a purezza ultra-elevata-nella moderna fabbricazione di semiconduttori.

  Flussostato per applicazioni ad alto flusso

 Disponibile con linea principale orizzontale o verticale

 Caduta di pressione minima attraverso il dispositivo

 Acciaio inossidabile SS 316L