INTEGRATED GAS SYSTEM>>Condivisione delle serie di prodotti IGS
VIGOR fornisce avanzati sistemi di gas integrati (IGS) progettati specificamente per il controllo del gas ad elevata-purezza nel settore della produzione di semiconduttori. Le nostre soluzioni combinano ingegneria innovativa con rigorosi standard di produzione per garantire affidabilità, compattezza e prestazioni superiori in applicazioni critiche.
Caratteristiche del prodotto
- Utilizzato per il controllo del gas nell'industria dei semiconduttori
- Progettazione modulare
- Tutti i componenti sono montati in superficie secondo lo standard SEMl
- La dimensione è circa 1/3 del pannello tradizionale
- Materiale standard SEMl, processo di elettrolucidatura e saldatura orbitale
- Wseal e C-seal opzionali
- Doppio confezionamento in camera bianca
- Tutti i prodotti, ad eccezione delle "staffe", sono tutti prodotti in conformità con la specifica di processo VS001A
Regolatori di pressione IGS Serie VIR
1. Massimo. Pressione di esercizio: 150 psig
2. Massimo. Temperatura di lavoro: -40 gradi F~140 gradi F(-40 gradi ~60 gradi)
3. Pressione di uscita: 0~100 psig
4. La finitura superficiale: Max. 5uin. Ra
5. Materiale: 316L VIM-VAR
6. Sede della valvola: PCTFE (PFA/Vespel opzionale)
7. Capacità di flusso: Cv=0.08
Valvole a membrana IGS Serie VID
1. Massimo. Pressione di esercizio: 150 psig
2. Massimo. Temperatura di lavoro: PCTFE 14 gradi F~176 gradi F(-10 gradi ~80 gradi); PFA 14 gradi F~302 gradi F(-10 gradi ~150 gradi)
3. Nessun design senza uscita
4. La superficie bagnata viene trattata con EP, Max. 5uin. Ra.
5. Materiale: 316L VIM-VAR
Testato per perdite di 6. 100% di elio--
7. Capacità di flusso: Cv=0.1
Valvole di controllo flusso IGS Serie VIM
1. Massimo. Pressione di esercizio: 150 psig
2. Massimo. Temperatura di lavoro: 14 gradi F~302 gradi F(-10 gradi ~150 gradi)
3. Sigillamento: FKM
4. La superficie bagnata viene trattata con EP, Max. 5uin. Ra
5. Capacità di flusso: Cv=0.03
Valvole di ritegno IGS Serie VICV
1. Massimo. Pressione di esercizio: 150 psig
2. Massimo. Temperatura di lavoro: 14 gradi F~176 gradi F(-10 gradi ~80 gradi)
3. Finitura della superficie: Max. 5uin. Ra
4. Pressione di apertura: 0,33 psig
5. Capacità di flusso: Cv=0.2
Substrati Serie VlB (C-seal)
1. Sigillo C-
2. Installazione non-fissa per garantire l'effetto di tenuta
3. La parte bagnata viene trattata con EP
4. La finitura superficiale: Max. 5uin.Ra
5. Materiale: 316L VIM-VAR
Serie di prodotti principali
- Regolatori di pressione IGS (serie VIR)
- Valvole a membrana IGS (serie VID)
- Valvole di controllo del flusso IGS (serie VIM)
- Valvole di ritegno IGS (serie VICV)
- Substrati e staffe IGS (serie VIB)
- Guarnizioni (Serie VIG)
Perché scegliere VIGOR IGS?
I nostri sistemi rappresentano una sinergia tra ingegneria di precisione e progettazione pratica, offrendo:
- Efficienza spaziale: dimensioni del pannello drasticamente ridotte.
- Purezza ultra-elevata: materiali e processi personalizzati per applicazioni di livello-semiconduttori.
- Flessibilità modulare: facile da configurare, espandere e mantenere.
- Affidabilità comprovata: test rigorosi e conformità agli standard SEMI-.
Noi di VIGOUR offriamo molto più che semplici componenti-forniamo soluzioni integrate che danno vita alle tue idee con sicurezza e precisione.
